微細品加工とは、極めて細かくて小さい製品を加工することである。
広義的には、微細品加工技術には様々な伝統的な精密加工方法とその原理とは異なる新しい方法が含まれている。
狭義的には、微細品加工技術は半導体集積回路製造技術に基づいて発展してきたもので、微細品加工技術は主に半導体集積回路の微細製造技術を指す。例えば、化学気相成長、熱酸化、フォトリソグラフィ、イオンスパッタリング 、真空蒸着などの技術を指す。
画像引用元：https://pic.sogou.com/d?query=%CE%A2%CF%B8%BC%D3%B9%A4&mode=1&did=6#did5
微細品加工技術は、材料表面の微細構造を変えることによっては、摩擦を減少させ、耐摩耗性を高め、材料の表面性能を著しく向上させることができる。この革新的な加工方法について、この数年来、多くの工業分野での実用的な応用から、微細品加工の技術が超精密加工のコストを大幅に引き下げられることが明らかになった 。生産サイクルを大幅に短縮するとともに、表面の品質も向上できる。微細品加工を用いて加工された表面に匹敵するものはない一貫性と再現性を有する。
資料引用元：
https://wenku.baidu.com/view/803bdee2551810a6f524863b.html
https://wenku.baidu.com/view/41a30a1b10a6f524ccbf8549.html
筆者：陈芝
2019年8月22日