微細加工とは、小型ワークに対する加工のことであり、通常で医療機器分野と電子分野に用いられる。また、微細加工は一般的には微小加工や精密加工を専門に行う作業場で行われる。そして、微細加工技術で製造された部品は通常で顕微鏡で観察する必要がある。
微細加工技術は、微小サイズの部品を加工する生産加工技術のことである。広義の観点から言えば、微細加工は各種の従来の精密加工方法や伝統的な加工方法とは全然異なっている加工技術を含む。例えば、切削加工技術、研磨加工技術、放電加工、電気化学加工、化学処理、超音波加工、マイクロ波加工、プラズマ加工、エピタキシャル成長、レーザ加工、電子線加工、粒子線加工、フォトリソグラフィー、電鋳加工などである。
画像引用元：http://www.360doc.com/content/14/0514/15/607082_377545495.shtml
微細加工と一般的な加工は異なっている。その違いは主に以下の点である。
1．精度の表現方法
微細加工の場合では、加工寸法が非常に小さいので、寸法の絶対値、すなわち取り出した材料の大きさによって精度を表現しなければならないため、加工寸法の概念が導入された。
2．ミクロのメカニズム
切削加工を例としては、ワークの観点から言えば、一般加工と微細加工の最も大きな違いは切削粉の大きさである。
3．加工の特徴
微細加工と超微細加工は、原子、分子を分離または結合することを加工対象とし、電子ビーム、技術ビーム、粒子束に基づき、堆積、エッチング、スパッタリング、などの手段で各種の処理を行う過程である。
資料引用元：
http://www.360doc.com/content/14/0514/15/607082_377545495.shtml
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筆者：孔靖茵
2019年10月20日