エキシマレーザーとは希ガスやハロゲンなどの混合ガスを用いてレーザー光を発生させる装置である。特性として、強い紫外線領域のレーザーが得られることが挙げられる。エキシマレーザーはCO2レーザーなどの赤外線レーザーと異なり、熱を発生しないためにより鋭利で、微細な加工が可能になる。また、エキシマレーザーは、方向性が強くて、波長純度が高くて、出力パワーが大きいパルスレーザである。
画像引用元：https://baike.baidu.com/item/准分子激光/2946558?fr=aladdin
光ファイバレーザー、半導体レーザー、CO 2レーザーと比較して、エキシマレーザーについて言及されたものは多くないです。しかし、実際にエキシマはすでに私たちの日常生活に深く入り込んでいる。エキシマレーザーは紫外線波長出力と高パルスエネルギーの特徴を同時に持っている。高パルスエネルギーと高周波数の結びにより、生産量の大幅な向上が実現できる。そのため、高パルスエネルギーはエキシマレーザーが広く応用される鍵となっている。そのような優れた特性を持っているので、視力矯正、フォトリソグラフィ、表示領域などの分野でも重視されている。
多くの利点によって、エキシマレーザーは精密加工の分野で広く応用されている。技術のさらなる発展につれて、エキシマはより多くの分野で活躍するだろう。
資料引用元：
https://laser.ofweek.com/2018-09/ART-240002-8500-30266724_2.html
http://www.tomoeshokai.co.jp/show/pop_spe01.html
筆者：钟珮瑜
2019年10月21日