生産プロセスによって微細加工の製作技術も異なっており、分子組立技術、微細切削加工技術、放電加工技術、電子ビーム微細加工技術、イオンビーム微細加工技術、レーザー微細加工技術、蝕刻などの分類に分けられる。以下では、その幾つかをご紹介いたしする。
分子組立技術
分子組立技術は分子操作技術や原子操作技術にもなる。これはナノメータレベルの微細加工技術の一種であり、ミクロ材料に基づいて微細構造を構築し、微細機械を製造する方法である。現在、分子組立技術は生命科学において主に応用され、遺伝子解析、染色体と細胞膜解析、蛋白質と核酸重合解析などの分野を含む。
微細切削加工技術
微細切削加工技術の主な方法は微細旋削、微細研削などである。それらは微量切削であり、また極薄切削とも言える。微小切削においては、ワークの小型化によって、強度及び剛性の点で大きな切削カットを行うことができない。
画像引用元：http://www.sz-ydf.com/products/detail/553.html
放電加工技術
放電加工技術は非接触式で巨視的な加工力が小さい過程である。これによってツールとワークの機械的負担が軽減され、マイクロツールを採用した微細加工にとっても優れている。
電子ビーム微細加工技術
電子ビーム微細加工技術は近年大きな発展を遂げた新興の微細加工技術である。これは主に穴あけ、狭縫い、溶接、および大規模集積回路のリソグラフィ化学加工に用いられ、微細精密加工、特にマイクロエレクトロニクスの分野で広く応用されている。
イオンビーム微細加工技術
イオンビーム微細加工技術はイオンビームを用いて材料を成形または表面改質する加工方法である。その原理は電子ビームマイクロ加工のと基本的に似ており、真空条件下でイオン源から発生したイオンビームを加速集束してワークの表面に打ちつけて加工する。
資料引用元：
https://wenku.baidu.com/view/bbbb5c59ba1aa8114431d9c1.html
http://www.sz-ydf.com/products/detail/553.html
筆者：孔靖茵
2019年10月23日