鏡面研磨技術は、表面の最小の粗さを達成できる研磨方法である。研磨されたワークは、表面の粗さが0.01ミクロン以下になれ、鏡面のようにはっきりと見えるので、鏡面研削と呼ばれている。
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鏡面研磨用の研削盤は下記のような条件が備える必要がある。まず高い精度と剛性があり、減振措置がとられている。また、研削砥石の主軸の回転精度が1µm以下で、砥石台の振幅が1µm以下にする。さらに、横向きの結構が正確に微動でき、作業台は低速運動の時で爬行現象がない。
鏡面研磨を行う方法には、砥石のバランスと修整というプロセスがある。砥石のバランスとは砥石をのせた後、まず大体の静的平衡を行い、砥石軸に載せて二端面と外周を修整し、最後にもう一度精確な静的平衡を行うことである。砥石の砥石の修整については、砥石がよく修整されているかどうかが、直接に研削面のきれいさを及ぼすのだ。表面の粗さを低減するために砥石の修整を重視することが大切である。
一方で、平面研削盤の上で鏡面研磨を行うと、表面の波紋、火傷、磨耗などの欠陥が生じることが多い。表面の波紋は一般的に砥石の振動によるもので、軸受の隙間が大きすぎ、主軸が偏りすぎ、主軸と軸受の間の油膜が不均一などである。また、硬度の高い材料を加工する場合、砥石の研削効率が悪く、研削点の温度が高くなく、部品にを火傷しやすやい。
資料引用元：
https://baike.so.com/doc/7531606-7805699.html
http://blog.sina.com.cn/s/blog_4247e3b50102z0jh.html
筆者：何桃紅
2020年1月8日