皮膜は「めっき層」、「リン化皮膜」、「酸化皮膜」、「鈍化皮膜」、「コーティング」などの総称です。真空技術に支えられているものがたくさんあって、今回は真空内での硬質皮膜処理について話しましょう。
ホームセンターの工具売り場で売っているドリルなどの切削工具の中で、刃の部分に金色のコーティングが施されているものを見たことはたくさんあるでしょう。このドリルの刃には、表面に窒化チタンなどの硬質皮膜が数ミクロンの厚さでコーティングされています。窒化チタンの膜は、硬くて耐摩擦性に優れた薄膜で、金属との密着性もよくて、切削工具表面処理コーティングには適しています。
この硬質皮膜が施された工具は無処理の工具に比べて、寿命が数倍長くなるという特徴があります。硬質皮膜としては、窒化チタンの他にも炭化チタン、窒化チタンアルミなどがあって、それぞれ硬度、摩擦係数、耐熱性の違いに応じて金型、自動車用部品、いろいろな装飾品などの表面処理コーティングに使われています。また、これらの硬質皮膜の成膜には、イオンメッキとも呼ばれるイオンプレーティングによるものが多く用いられています。
資料引用元：
https://zhidao.baidu.com/question/89769190.html
https://www.ulvac.co.jp/wiki/vacuum-lesson22/
筆者：钟珮瑜
2020年1月10日