表面粗さ測定器は部品の表面品質を評価する卓上粗さ計で、様々な部品の表面の粗さを測定することができます。平面、斜面、外円柱面、内穴面、深溝面及びベアリングロールなどを含んで、表面粗さの多機能精密測定を実現します。
表面粗さの測定方法は基本的に接触式測定と非接触測定二つの種類に分けられます。接触式測定には、主に比較法、印刷モード法、触針法などがあります。非接触計測方式にはリアルタイムホログラム法、スペックル法、オプトヘテロダイン法、AFM、光学センサー法などがよく用いられます。
その中に、触針式の表面粗さ測定器は最もよく使われて、最も便利で、最も信頼できる表面粗さ測定器であり、各国の国家基準及び国際標準に基づいて制定されています。センサーの原理によって、触針式粗さ測定器はインダクタ式、圧電式、光電式、レーザー式、ラスター式などに分けられます。接触式表面粗さ計で微細な形状や粗さを精度良く測定するためには、触針の先端Rがなるべく小さいことや接触圧が少ないことが求められます。触針の材質はサファイヤまたはダイヤモンドが使われていて、触針の先端半径は通常約10μm以下になります。理想的な触針の形状は球状先端をもつ円錐になります。
資料引用元：
https://www.keyence.co.jp/ss/products/microscope/roughness/equipment/contact.jsp
筆者：钟珮瑜
2020年1月27日