電子顕微鏡は、ビームと光学レンズの代わりに電子ビームと電子レンズを使って、非常に高い倍率で物質の微細構造を画像化する設備です。
電子顕微鏡は構造と用途によって、透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、反射型電子顕微鏡、放出型電子顕微鏡などに分けられます。透過型電子顕微鏡は通常の顕微鏡では見分けられない微細な物質構造を観察することによく使われます。走査型電子顕微鏡は主に固体の表面形態を観察するために用いられます。また、X線回折計或いは電子分光計と結合して、物質の分析のために電子マイクロプローブを構成することができます。放出型電子顕微鏡は電子表面を照射する研究に用いられます。
電子顕微鏡の構成：
- 電子源：自由電子を放出する陰極があって、また環状の陽極加速電子もあります。陰極と陽極の間の電圧差は非常に高くなければならなくて、一般的に数千ボルトから3百万ボルトの間にあります。
- 電子レンズ：電子を集束するために使用されます。一般的には磁気レンズを使いますが、静電レンズを使うこともあります。
- 真空装置：顕微鏡内の真空状態を保障するために使用します。
- サンプルラック：サンプルは見本棚に安定的に置くことができます。その他に、サンプル（移動、回転、加熱、冷却、伸長など）を変えるための装置もあります。
- 探知器：電子の信号または二次信号を収集するために使用されます。
筆者：何桃紅
2020年4月19日