物理気相成長法または物理蒸着(英語:physical vapor deposition、略称:PVD)は、気相で物質の表面に物理的な方法を使って薄膜を堆積する方法である。一般的に、切削工具や各種金型への表面処理や、半導体素子の製造工程に於て使用されている。 最初は高速鋼刃物の分野での応用が世界各国の製造業の注目を集めたが、現在、 PVDコーティング技術は普段エンドミル、ドリル、フライスブレードや溶接カッターなどの工具に応用されている。
物理気相成長法(PVD)の原理は以下通りです。圧力が低い状態である「高真空」の中で、物質を気体のように原子や分子で動ける状態(気相)になせる。その時に、金属原子同士をぶつけ、目的とする金属を物質の表面に付着させていき、金属の薄膜の層を形成していくのだ。
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PVD技術は、作製した膜が優れた耐摩耗性などの利点があるので重視された。 例えば、真空コーティング機の技術を例にする。めっき層の付着性能が良い。コーティングしている時には製品の表面とめっき層の間にほとんど接続されている接続層がない。その他に、 PVD の製品も品質がいい。また、硬度が高く、耐摩耗性が強く、製品の使用期限を長くすることができる。
資料引用元:
https://www.weblio.jp/content/PVD
https://www.shincron.co.jp/technical/device4-1.htmlh
http://www.hcvac.com/html/4202.html
https://baike.so.com/doc/5498374-5736288.html
https://baike.sm.cn/item/a98d5359976ad81a40b9266e163825e5.html
筆者:何桃紅
2019年11月19日